RGA系列四极质谱仪

三级过滤（3F）四极质谱仪系列

Hiden RGA系列四极质谱残余气体分析仪，用于真空诊断

Hiden HAL 3F质谱仪适用于高精密科学研究和UHV过程分

和工艺过程的精确分析。

析。

● PPM灵敏度,质量数至300amu

● 高精度的残余气体分析

● 稳定性好：24小时以上峰高变化小于±0.5%

● 灵敏度高，检测范围100%～5ppb

● MASsoft软件控制；显示柱状图、趋势分析和信号峰

● 质量数可达1～2500amu

● 快速扫描：100amu/s

● 长期稳定性，超过24h峰高变化小于±0.5%

● 混合模式扫描,多窗口显示信息

● 离子源控制以利于软离子化和表观电势质谱

● 多种离子源供选择

● 有6、9、12mm直径的四极杆可选

● 同步背景扣除，自动质量数排列

● 快速扫描：100amu/s

● 数据输出为ASCII格式，至windows软件

● 多离子源供选择

● 动态数据交换（DDE）至Excel、SPC-IV等软件

● 在一级滤过处增加射频，抗污染物

● 脉冲离子计数器选件可检测连续7个数量级的动态范围