HPR 30 过程气体分析仪

HPR 70 批量进样气体分析系统

HPR30是用于真空、等离子体和薄膜加工监测的高性能

● 密封、离散容器内所有组分的定量分析

过程气体分析、控制分析仪。

● 定量样品检测

● 取样压力：1x10^－4mbar～1mbar（可扩展低压到UHV）

● 1cm³喷流扩充至10cm³～1升体积

● 稳定性好：24h之上，小于峰高的±0.5%

● 样品漏失/零排放/零记忆效应

● 高灵敏度：5ppb

● 不连续的/分批样品分析

● 质量数范围：1～200、300、510、1000amu

● 远程样品采集/本地分析

● 过程控制开关

● 膨胀体积内直接分子漏孔取样

● 信号输入、输出接口

HPR 40 薄膜进样质谱仪（MIMS）

HPR 90 密封气体分析仪

HPR40是用于对溶解性气体进行精确分析，或过程中产生

HPR90是独特的专用系统，分析灯泡（管）中填充气体

的易溶物研究。

及其他密封件中的气体。

● 土壤成分分析

● 可互换的破裂室，手动破裂装置

● 发酵过程分析

● 网眼筛选，密封件固定器，2微米在线进样口过滤器

● 江、河、水库的水质分析

● 自动进样口，附自动泄漏阀、波纹管密封隔离阀

● 电化学反应研究

● 灵敏度高，分析可至10ppm，质量数至2500amu.

● 微生物/酶活性研究

● 标定气体进样系统

● 环境监测