UHV-TPD Workstation 超高真空TPD工作站

SIMS Workstation 二次离子质谱工作站

Hiden UHV-TPD工作站是专为超高真空热脱附研究而设

Hiden SIMS 工作站，综合UHV/SIMS 设备，进行高级的表

计的。

面分析。

● 带有观测窗和样品加热台的真空室

● 各类型样品的快速转换

● 带脉冲离子计数检测器的三级过滤四极质谱仪

● 静态、动态SIMS

（Hiden 3F/PIC）

● 整体的离子源，用于RGA/SNMS

● 质量数范围：1～300、510、1000aum

● 表面修饰/光栅研究

● 快速质谱数据采集：>500数据点/秒

● SIMS 表面形态/成像

● 工作站含有操作软件，可自动控制样品温度

● 表面污染物分析

● TPD常规分析，包括质谱峰的积分和反褶积计算等

● 正、负离子、中性粒子、自由基的质量、能量分析仪

● 样品可加热到1000℃

● 读数电子枪（选配）用于绝缘体研究时的电荷中和

● 密闭、自动装样器

● 快速样品传递，样品固定，负载锁定的操纵器

● 智能操作软件控制实验操作

● 4 轴：X,Y,Z,θ UHV 操纵器，以定位样品

● 加上ESM LabVIEW SIMS成像程序，进行SIMS元素成像

● 静态SIMS光谱资料库可用

SPACI-MS 空间分辨质谱仪

Compact SIMS小型二次离子质谱仪

SPACI-MS是一台商业的空间分辨质谱仪，可以

完备的二次离子质谱和二次中性粒子谱系统，一种简单而快

进行径向和轴向的物质检测和温度分布绘图，具有极高空

速的工具，用于分析样品层状结构、表面污染和杂质含量。

间和时间分辨率，可以排除温度和气流的干扰。16路进气

灵敏的正离子检测，在全质量数范围内提供同位素分辨率。

口，连接到hiden的质谱上可以自动、快速地绘制温度和

离子枪的设计，可以提供纳米级的深度分辨率和近表面分析。

气体分布谱图。

● 体积小巧

● 发动机催化反应

● 10个样品装载

● 尾气排放

● 深度剖析

● 燃料电池研究

● 仅需单相电源（<10A）

● 非热平衡等离子体反应

● 正二次离子质谱和二次中性粒子谱

● 定量分析反应器内的瞬态和分布

● 移动车的设计

● 高时间分辨和小的扰动

● 3D表征和成像

● 空间分辨：0.1mm

● 质谱图

● 轴向驱动：0～300mm

● 同位素分析