全国服务热线:
400-892-2098
SERVICE HOTLINE
服务热线——400-892-2098
EQP等离子体质量和能量分析仪 |
ESPion 高级朗缪尔探针 |
|
|
Hiden EQP是一台结合质量和能量分析的仪器。用于分析 |
ESPion Langmuir 静电等离子体探针适用于RF和DC等离子 |
||
等离子体中正、负离子、中性粒子以及自由基的种类和 |
体反应器,自动测量、在线显示和存储测量参数。ESPion |
||
能量分布。 |
|
在被动射频补偿方面处于领先地位,在所有商业化探针 |
|
● 刻蚀/沉积过程研究 |
● 磁控溅射沉积过程分析 |
中ESPion具有的屏蔽阻抗(4.25Mohm at 13.56 MHz |
|
cf.100kohm),也是速的脉冲等离子体探针。具有自 |
|||
● 离子注入/激光烧蚀 |
● 残余气体分析/泄漏检测 |
||
清洗循环功能,防止探针尖端污染。 |
|||
● 脉冲等离子体研究 |
|
||
|
● 蚀刻/沉积/清洁等离子体 |
● 离子密度 (Ni & Gi) |
|
● 粒子通量、方向、能量和原子状态 |
|||
● 质量数:1~300、510、1000、2500amu |
● 脉冲等离子体操作 |
● 等离子体电势 |
|
● 1000eV能量选配;悬浮电位可选至10keV |
● 电子密度(Ne) |
● Debye长度 |
|
● 电子附着分析选配 |
|
● 电子温度(Te & EEDF) |
● 悬浮电位 |
PSM等离子体质量和能量分析仪 |
HPR 60分子束取样质谱仪 |
|
PSM是一台差式泵质谱仪(In-Line Plasma Analysers for |
HPR 60适用于常压下的高速度、无碰撞的分子束分析, |
|
Neutrals, Radicals and Ion Analysis),分析等离子过程 |
即常压下的等离子体过程分析/表征 |
|
中的二次离子和中性粒子。 |
|
● 反应动力学 |
● 离子束蚀刻 |
● 等离子体沉积研究 |
|
● 常压等离子体诊断 |
||
● 离子植入/激光烧蚀 |
● 残余气体分析 |
|
● 燃烧研究–火焰离子化分析 |
||
● 灵敏度高/极稳定的3级过滤四极杆,质量数范围至2500amu |
||
● 催化研究 |
||
● 脉冲离子计数检测器,7个数量级的动态范围 |
||
● CVD/MOCVD–金刚石生长研究 |
||
● 能量分析选件,标准±100eV(1000eV可选 ) |
||
● 大气辉光放电分析 |
||
● 具有可调谐的离子源,用于表观势能谱 |
||
● 集束分析 |
||
● 信号选通分辨率1μs, |
|
|
|
● 闪脱附研究 |
|
● 标准分析中性粒子、自由基,正,负离子分析 |
||
● 低、高能量分析选项,分析中性粒子、离子、自由基 |
||
● Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选,高压操作可选 |
||
● 20、100、1000 mbar取样压力选择 |